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新型晶圆盒
专利名称:
新型晶圆盒
英文名称:
专利号:
专利类别:
实用新型
专利证书号:
申请号:
2020225206771
第一发明人:
刘欢
其它发明人:
宋华平;杨军伟
申请日期:
专利授权日期:
2021-06-11
国外申请日期:
国外申请方式:
缴费情况:
实施情况:
专利摘要:
其它备注:
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