空气隙型薄膜体声波谐振器的制备方法
专利名称:
空气隙型薄膜体声波谐振器的制备方法
英文名称:
专利号:
专利类别:
发明
专利证书号:
申请号:
2019101957802
第一发明人:
张忠山
其它发明人:
李俊杰;杨海方;顾长志
申请日期:
专利授权日期:
2021-05-25
国外申请日期:
国外申请方式:
缴费情况:
实施情况:
专利摘要:
其它备注: