一种电子型的法布里-珀罗干涉器件及制备方法
专利名称:
一种电子型的法布里-珀罗干涉器件及制备方法
英文名称:
专利号:
专利类别:
发明
专利证书号:
申请号:
2017103023117
第一发明人:
朱玉莹
其它发明人:
刘广同
申请日期:
专利授权日期:
2021-02-26
国外申请日期:
国外申请方式:
缴费情况:
实施情况:
专利摘要:
其它备注: