用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置和方法
专利名称:
用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置和方法
英文名称:
专利号:
专利类别:
发明
专利证书号:
申请号:
2016104275731
第一发明人:
李健梅
其它发明人:
孙丽欢;唐向前;陆兴华
申请日期:
专利授权日期:
2019-09-03
国外申请日期:
国外申请方式:
缴费情况:
实施情况:
专利摘要:
其它备注: